光谱椭偏仪

米兰体育:2023-11-03 浏览次数:784

仪器设备档案卡


仪器名称
光谱椭偏仪
仪器型号
SE-VM-L
生产厂家
武汉颐光科技
购置日期

放置地点
公共分析测试平台1
仪器
正常
技术参数

1、光谱范围:210~1650nm;可测厚度范围:1nm-10μm;

2、测量时间:<15秒/次(可调),膜厚重复精度:优于 0.005nm;折射率重复精度:0.0002;

3、入射角范围:45-90°(5°进步);

4、入射角调节方式:手动变角,手动找焦。

功能特色